开号 101663753
地下日 20100303 请求人 国内贸易机械公司 地点 美国纽约 由这样的办法制成铑接触构造,该办法包罗:取得其上具备介电层的衬底,此中所述介电层具备凹槽,所述铑接触将堆积正在所述凹槽中;正在所述凹槽中以及所述介电层上堆积籽晶层;和经过包罗铑盐、酸以及应力加重剂的浴液进行电镀而堆积铑;而后可选地对该构造进行退火。 |
开号 101663753
地下日 20100303 请求人 国内贸易机械公司 地点 美国纽约 由这样的办法制成铑接触构造,该办法包罗:取得其上具备介电层的衬底,此中所述介电层具备凹槽,所述铑接触将堆积正在所述凹槽中;正在所述凹槽中以及所述介电层上堆积籽晶层;和经过包罗铑盐、酸以及应力加重剂的浴液进行电镀而堆积铑;而后可选地对该构造进行退火。 |