通过电镀和电镀组成物制造铑接触结构

   日期:2021-10-09     浏览:214    
核心提示:开号 101663753地下日 20100303请求人 国内贸易机械公司地点 美国纽约由这样的办法制成铑接触构造,该办法包罗:取得其上具备介
 开号 101663753

地下日 20100303

请求人 国内贸易机械公司

地点 美国纽约

由这样的办法制成铑接触构造,该办法包罗:取得其上具备介电层的衬底,此中所述介电层具备凹槽,所述铑接触将堆积正在所述凹槽中;正在所述凹槽中以及所述介电层上堆积籽晶层;和经过包罗铑盐、酸以及应力加重剂的浴液进行电镀而堆积铑;而后可选地对该构造进行退火。

 









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