(2)再适当的设定前提下可将多元复杂的靶材制造出同一组成的薄

　　(3)行使放电氛围中退出氧或其它的活性气体，能够制造靶材物资与气体份子的夹杂物或化合物。

　　(4)靶材输出电流及溅射工夫能够管制，容易患到高精度的膜厚。

　　(5)较其它制程利于消费年夜面积的均一薄膜。

　　(6)溅射粒子几没有受重力影响，靶材与基板地位可自在布置。

　　(7)基板与膜的附着强度是普通蒸镀膜的10倍以上，且因为溅射粒子带有高能量，正在成膜面会持续外表分散而失去硬且致密的薄膜，同时此高能量使基板只需较低的温度便可失去结晶膜。

　　(8)薄膜构成初期成核密度高，可消费10nm如下的极薄延续膜。

　　(9)靶材的寿命长，可长期主动化延续消费。

　　(10)靶材可制造成各类形态，合营机台的非凡设计做更好的管制及无效率的消费。