若正在基板(主阴极)旁侧设置多个热阴极(见图9-19)，这就成为了多阴极型离子镀。这里以热阴极以及阳极维持放电，并行使热阴极发射的电子促成气体电离。因为热阴极发射年夜量电子，即便正在低气压也能维持放电，多阴极型离子镀的工作气压只要0.1Pa，基片放电电压只要200V，离化率可达l0%，可进行活性反响离子镀。

图9．19多阴极型离子镀

1一阳极2～蒸发祥3—基板4～孕育发生热电子阴极5一可调电阻6—灯丝电源7不断流电源＆一真空室9一真空系  。统10一蒸发电源11一进气口

      多阴极型离子镀的放电电流年夜，并且放电电流变动范畴也年夜;同时多阴极型基板主阴极维持没有变的放电电压，使轰击基板的粒子能量没有致过高而造成年夜量缺点以及太高温升。别的，多个阴极设置装备摆设正在基体四周，扩展了阴极区，改善了绕射性。