地下号 101407935

地下日 20090415

请求人 上村产业株式会社

地点 日本年夜阪

一种延续电镀铜的办法，此中行使可溶性或没有溶性阳极，工件为阴极，正在包容含有无机增加剂的硫酸铜电镀液的电镀槽中对工件进行延续电镀。所述办法包罗电镀液从电镀槽溢流出到溢流槽中，由此将溢流槽中的电镀液前往到电镀槽中。设置氧化合成槽，而且电镀液经过溢流槽从氧化合成槽前往到电镀槽中，以使电镀液正在电镀槽以及氧化合成槽之间轮回。将金属铜浸入氧化合成槽中的电镀液中并暴露于空气鼓泡，使患上正在铜电镀时期孕育发生的合成或蜕变所构成的合成/蜕变无机产品能被氧化合成掉。