高频感到加热蒸发是将装有镀膜资料的氧化铝或石墨坩埚置于高频感到线圈的地方，行使高频电流的涡流以及磁滞效应，以致镀膜资料升温直至气化蒸发。图9-3为高频感到加热源的表示图。高频电流的频次依据没有同的资料可正在10～lOOkHz范畴变动，输出功率为几千瓦至几百千瓦。

图9-3高频感到加热蒸发的工作原理

感到加热蒸发的特性是加热源的安装较简略，但需装备价昂的年夜功率高频电源;若采纳较年夜的坩埚，能失去较高的蒸发速度，消费率高，实用于某些延续蒸发镀膜设施上;另外，蒸发资料的温度易管制，操作也较简略，且因为涡流间接作用正在蒸发资料上，坩埚温度较低，坩埚资料对膜层净化较少。但需对高频电磁场进行屏蔽，以防对外界的滋扰。并且假如蒸发资料长短导电介质，则需采纳导电的资料制造坩埚来进行直接加热。

高频感到加热蒸镀可用来制备Al、Be、Ti等膜，用于钢带延续真空镀灿等。