电阻加热蒸发镀的工艺特性是采纳片状或丝状的W、M0、Ta等高熔点金属，做成肯定形态的蒸发祥，其上装入待蒸发资料，行使年夜电畅通流畅过蒸发祥所孕育发生的焦耳热，对蒸发资料进行间接加热蒸发，或许把待蒸发资料放人Al20三、Be0等坩埚中进行直接加热蒸发。图9-2为各类形态的电阻蒸发祥。

图9-2各类形态的电阻蒸发祥

电阻加热蒸发构造较简略，老本低，操作简捷，使用普遍。然而要求电阻加热蒸发祥资料具备高熔点、低的均衡蒸气压以及正在蒸发温度下没有与膜料发作化学反响或互溶景象。

电阻加热蒸发镀可用来制备Al、Ag、Cd、C0、Ni膜以及多种光电膜。